儀器簡介：

LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN**推出的一款聚焦離子束掃描電鏡,以高品質,完全計算機控制,用戶友好界面為基礎的系列產品.具有使用方便,產品質量穩定,分析高效為特點的**設計。該型號樣品臺行程大，可承受**樣品重量甚至可達10Kg，是現有樣品臺可載重**的掃描電子顯微鏡。使用于航空航天，汽車配件，發動機等事業單位和研究單位，其超大的樣品室和載重可為您帶來無可比擬的便捷，使得對一些不方便進行切割等處理的樣品的觀察成為可能。

該系列中的Cobra型號離子槍更提供了****的分辨率。

主要特點：

國內**使用中文操作界面的電鏡廠商 
1.系統實現了電子束和離子束的共聚焦，有氣體注入系統; 
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,channeling模式，可以非常方便的尋找樣品位置; 
3.**的低真空二次電子探測器(LVSTD). 
4.紅外線樣品室內攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品; 
5.真空系統采用一臺機械泵和一臺分子泵，FIB電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內就可達到待測狀態;并且不需要使用冷卻水冷卻. 
6.采用主動式電磁減震系統，對環境的要求更寬泛 
7.先進的軟件系統,在數據儲存數據記錄數據打印等方面具有多種創新功能. 
8.完善的自動功能，能幫助您更快更好的獲取圖片 
9.12個以上外擴展接口,可安裝更多的附件
10.可進行遠程控制