GAIA3 是一款完全由計算機控制的鎵離子源聚焦離子束 - 超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注射系統，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的電子光學性能，清晰的數字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作軟件等特點。基于Windows平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和其它許多自動操作。

*重要的特性：

u  具有超高分辨率的單極60度角物鏡；

u  無磁場模式用于磁性樣品的觀察；

u  高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；

u  鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測；

u  獨有的三透鏡大視野光學（Wide Field Optics^TM）設計，提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN專有的中間透鏡（IML）的功能；

u  實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?）技術，模擬和實現電子束優化，可直接連續控制束斑和束流大小；

u  電子束減速模式下低電壓可獲取優秀的分辨率(選配)；

u  In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像；

u  利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計；

u  由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室；電子槍的真空度由離子泵來維持；

u  包括電子光學設置和校準的全自動顯微鏡設置；

u  完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶多語言操作界面；

u  網絡操作和內置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置；

u  獨特的3維電子束技術用于獲得實時立體圖像；

u  擴展的低真空模式使樣品室真空可達500 Pa，用于非導電試樣的觀察；

u  Cobra鏡筒在高束流下具有超高的分辨率和優良的性能；

u  獨特的離子光學差異泵（兩個離子泵）可降低離子散射效應；

u  配有高重復性馬達驅動光闌轉換器的聚焦離子束鏡筒；

u  標配電子束遮沒裝置和法拉第杯的離子束鏡筒；

u  自動FIB切割、信號采集以及3維重構技術（斷層掃描），實現3D EBSD、3D EBIC等集成可視化3維 (選配)；

u  FIB銑削或沉積時SEM同時成像（兩個獨立的掃描發生器）；

u  刻蝕或沉積過程中FIB局部成像；

u  強大的電子束寫入工具，包含大量基本的和高級的、可進行各種工藝參數編輯的對象；

u  成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件用于圖片的獲取、存檔、處理和分析；多用戶多語言的操作界面。