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流體軸承 全機型標準裝備
磨盤平面維持機制
三向式 BN 系列
創新型上磨盤不旋轉的研磨機。通過鋼絲懸掛上磨盤，提升了對下磨盤的追隨性，顯著提高良率，實現量產中的成本優化。
單面研磨 / 拋光機 HS 系列
沿用雙面研磨機的技術積累，標準搭載專為單面研磨機開發的流體軸承，即使僅使用單個研磨環也能實現穩定加工。
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