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面議型號
INSPECTRA品牌
產地
日本樣本
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光學系統陣容多樣:可提供 BF(明場)/DF(暗場)/DIC(微分干涉對比)/ 特殊光學系統。
檢測工具:具備 AI-ADC 功能、多種數據輸入 / 輸出接口、檢測結果分析系統及配方共享功能。
特殊晶圓適配:支持薄晶圓 / 翹曲晶圓檢測,可適配面板檢測。
類型:硅晶圓、化合物晶圓、玻璃等
目標缺陷尺寸:>0.5 微米
檢測 throughput(產能):>200 片 / 小時
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