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HON-CO2-S/W/VVV系列二氧化碳純化器品牌
科立恩產地
遼寧樣本
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系列 Series | 雜質 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
HON-CO2-S/W/VVV | O2 | ＜3 | ＜1 |
H2 | ＜1 | ＜1 | |
CO | ＜1 | ＜1 | |
CH4 | ＜0.5 | -- | |
H2O | ＜3 | ＜1 | |
揮發性酸VA | -- | ＜0.005 | |
揮發性堿VB | -- | ＜0.5 | |
耐熔化合物RC | -- | ＜0.005 | |
可冷凝有機物Corg | -- | ＜0.15 | |
不凝有機物Ncorg | -- | ＜1 | |
Flow | 10～3000Nm3/h | ||
工藝介紹：
（1）使用特殊純化材料，通過物理和化學吸附方式脫除O2、CO、H2O、H2、揮發性酸VA、揮發性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機物Corg、不凝有機物Ncorg等雜質。
（2）吸附反應器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復使用。
（3）多柱交替吸附、再生，可連續供氣。
應用領域：
純化用于半導體應用的二氧化碳
氣體行業
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