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單片式-預熱環 Si外延設備零部件品牌
志橙半導體產地
廣東樣本
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| 產品介紹及用途： | 處于Si外延襯底托盤外圈，用于校基準、加熱 |
| 產品所處設備位置： | 反應腔內，非直接接觸晶圓 |
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