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| 產品介紹及用途： | 連接石英管，可通入氣體帶動托盤基座旋轉，可控溫 |
| 產品所處設備位置： | 反應腔內，非直接接觸晶圓 |
| 主要下游產品： | 功率器件 |
| 主要終端市場： | 新能源汽車 |
| 產品介紹及用途： | 連接石英管，可通入氣體帶動托盤基座旋轉，可控溫 |
| 產品所處設備位置： | 反應腔內，非直接接觸晶圓 |
| 主要下游產品： | 功率器件 |
| 主要終端市場： | 新能源汽車 |
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