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全自動12寸晶圓拋光機
全自動12寸晶圓拋光機

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型號

全自動12寸晶圓拋光機

品牌

江蘇元夫

產地

江蘇

樣本

暫無
江蘇元夫半導體科技有限公司

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第1年

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生產商

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核心參數
  • 裝機功率(kw):

    -
  • 成品細度:

    -
  • 工作原理:

    其他
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    -
  • 主軸轉速:

    -
  • 單位能耗:

    -
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全自動12寸晶圓拋光機

為應對當前高端集成電路制造國產化趨勢,研發出12吋全自動高產能CMP(化學機械研磨)設備,滿足客戶多種工藝應用場景需求、提供整體解決方案,**化地降低客戶設備運維成本、提高單位面積/單位時間的產出率。

設備特點

多線程跑貨,高WPH

模塊化布局,分區維護

自主研發多分區研磨頭

干進干出,馬蘭戈尼提拉干燥

搭配在線量測IM,實現APC

高速響應、高精度Endpoint技術

用于Oxide/Si/STI/W/Cu/Poly等CMP制程

可支持天車系統,實現全自動派工

適配全工業化生產系統MES/RMS/FDC/PMS等

具備自主知識產權創新技術

標準機臺尺寸:長5.7m*寬2.8m*高2.7m


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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

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10分
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