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“冰刻”是使用“冰膠”替代光刻膠完成微納加工的電子束光刻技術。在零下140度左右的真空環境下，“冰”能夠在平面或立體表面形成均勻“薄膜”，結合一體化集成電子束加工鍍膜、刻蝕等工藝流程，可實現三維結構加工、立體表面加工、敏感材料加工等應用。
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