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技術優勢
芯三代公司自主研發的高性能氮化鎵材料外延生長設備，滿足未來市場對設備更高產能要求的同時，具有高外延均勻性、低外延缺陷、低外延運行成本、長維護周期和易于維護等特性。
工藝性能
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