技術優勢

分體式將電源與尾氣模塊、PM/TM/EFEM模塊做了分體式設計，方便用戶將電源與尾氣模塊單獨放入灰區或夾層區域。并可配合SMIF模塊和天車聯動，實現全自動功能。

設備擁有完全獨立的自主知識產權，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術，輔以全自動上下料（EFEM）系統和高溫傳盤等手段，實現了全球優異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數連續自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優勢。

工藝性能

設備擁有完全獨立的自主知識產權，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術，輔以全自動上下料（EFEM）系統和高溫傳盤等手段，實現了全球優異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數連續自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優勢。設備擁有完全獨立的自主知識產權，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術，輔以全自動上下料（EFEM）系統和高溫傳盤等手段，實現了全球優異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數連續自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優勢。