單管裝片量

1600片/批（槽間距2.38mm）

工藝類型

高溫氧化、退火工藝

溫度控制系統(tǒng)

控溫方式

5段雙回路串級(jí)控制

控溫范圍

600℃～1100℃

恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度

≤±0.5℃/1600mm（801℃～1100℃）

≤±1℃/1600mm（400℃～800℃）

單點(diǎn)穩(wěn)定性

±0.5℃/24h(靜態(tài)，900℃)

爐體升降溫速率

**升溫20?C/min；**降溫5?C/min

氣路系統(tǒng)

流量控制方式

氮?dú)?、氧氣流量由MFC控制；保護(hù)氮?dú)庥筛∽恿髁坑?jì)控制

氣體控制精度

±0.5%FS

送舟機(jī)構(gòu)

水平推舟速率

1～400mm/min 連續(xù)可調(diào)，定位精度≤±1mm

垂直升降速率

8～12mm/min

石英舟進(jìn)出方式

軟著陸、在線式（凈化臺(tái)側(cè)出舟）

SiC槳**承載

25Kg

控制系統(tǒng)

工藝監(jiān)控方式

工業(yè)平板電腦全自動(dòng)控制（觸摸屏操作）

自動(dòng)控溫功能

具有自動(dòng)斜率升降溫及恒溫功能

工藝歷史記錄功能

核心工藝參數(shù)（溫度、壓力、流量、功率、電流、淀積時(shí)間）每3秒記錄一次，其他過(guò)程每10秒記錄一次。

報(bào)警保護(hù)功能

設(shè)備具有工藝狀態(tài)聲光提醒，以及計(jì)算機(jī)異常、超溫報(bào)警與欠溫、MFC偏差、反應(yīng)室壓力偏差、極限超溫報(bào)警和保護(hù)功能；

其他參數(shù)

設(shè)備峰值功率

280 KVA（5管）

保溫功率

75 KVA（5管）

設(shè)備柜體尺寸

7440mm(長(zhǎng)）×2020mm（寬）×3530（高）

設(shè)備利用率

≥98%