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型號：IBSV-1030
特點：
a)基板垂直放置，水平監控；
b)轉靶左右可調，保證靶面中心和離子源**距離；
c)基板：12吋×1 ;
d)靶材：兩靶或三靶可更換；
e)多光路監控。
f)工件夾具：12吋
工藝參數：
1）真空系統
a)極限真空度：4.0×10-5Pa
b)抽至10Pa所用時間 10 Pa：≦ 10 分鐘
c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se
型號：IBSV-1030
特點：
a)基板垂直放置，水平監控；
b)轉靶左右可調，保證靶面中心和離子源**距離；
c)基板：12吋×1 ;
d)靶材：兩靶或三靶可更換；
e)多光路監控。
f)工件夾具：12吋
工藝參數：
1）真空系統
a)極限真空度：4.0×10-5Pa
b)抽至10Pa所用時間 10 Pa：≦ 10 分鐘
c)漏率：3.0×10-5Pa m3/se
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