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1）真空腔 2）抽氣系統 a) OSAKA FR060D b) BROOKS CTI OB400 & 9600 compressor/Leybold DIP8000 c) Flapper Valve d) Inficon vacuum gauge | 3）電子槍 JEOL BS-60050EBS 4）高精度鍍膜基板溫度控制雙加熱系統,**溫度:350℃ 5）高精度控制工件高速旋轉 6）6片石英芯片晶體膜厚控制儀 7）鍍膜基板自動翻面功能 8）同點實時監控光學膜厚儀 |
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