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半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備品牌
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真空等離子清洗設(shè)備采用一體化結(jié)構(gòu)，配備RF離子清洗系統(tǒng)，全自動化控制，操作方便，維護(hù)方便。通過RF高頻發(fā)生器，可產(chǎn)生高密度等離子體，對工件表面進(jìn)行活化、刻蝕、灰化，有效去除產(chǎn)品
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