關(guān)鍵應(yīng)用：

柵極預(yù)清洗

RCA清洗

光阻去除

氧化硅腐蝕

氮化硅腐蝕

CoSix選擇性腐蝕

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1、占地面積小，將外部unit 集成在設(shè)備內(nèi)部來減小整體的占地面積；

2、高產(chǎn)能，優(yōu)化的Marangoni Dryer；

3、重新設(shè)計槽體流場，較好的清洗效果和均一性;

4、有機清洗，控片回收；

5、機臺將back conveyor集成在機臺的后上方，節(jié)省了空間 ；

6、機臺采用PLC和PC的結(jié)合控制方式， 系統(tǒng)可靠高；

7、優(yōu)化機臺內(nèi)部流場設(shè)計，帶來更好的articleperformance

8、破片偵測系統(tǒng)，防止二次傷害；