SCREEN二手清洗設備WS-820L，針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統可實現靈活的生產線配

特點：

1.傳輸類型

選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進行無載體轉移處理。

2. 靈活的設計

系統可以根據應用自由配置。處理槽配置*多可包含 13 個槽。

3. 高吞吐量

可以安裝多個浴槽，*多可以安裝六個傳送機器人，以確保高吞吐量。

4. 高品質加工

優化的加工槽設計、嚴格的化學品管理和清潔的干燥裝置有助于穩定、高質量的加工。

5. 豐富的周邊設備陣容

提供多種外圍設備，包括晶圓傳送單元和盒式儲料器。

6. 水印的預防

可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔