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EVG 610光刻機
EVG 610光刻機

參考價格

面議

型號

EVG 610光刻機

品牌

亞科電子

產地

北京

樣本

暫無
亞科電子(香港)有限公司

會員

|

第2年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 重現性:

    -
  • 儀器原理:

    其他
  • 分散方式:

    -
  • 測量時間:

    -
  • 測量范圍:

    -
  • 誤差率:

    -
  • 分辨率:

    -
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產品簡介:

EVG 610是一款入門級光刻機,支持接近式、軟接觸、硬接觸、真空接觸4種曝光方式,可選配背面對準模塊。也可用于鍵合對準及納米壓印光刻(NIL),是科研開發用戶的理想選擇。

主要特點及參數:

·**支持8英寸(200mm)晶圓

·頂部及底部對準:

頂部對準精度≤±0.5μm

底部對準精度≤±2μm

紅外對準精度≤±2μm(取決于襯底材料)

鍵合對準精度≤±2μm

納米壓印對準精度≤±2μm

·支持汞燈或UV-LED光源

·自動楔形補償程序

·可選配功能:

鍵合對準

紅外對準

納米壓印光刻(NIL)


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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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