掃描探針顯微鏡(SPM)是利用細微的探針，在樣品表面掃描，進行高放大倍率觀察三維形貌的顯微鏡總稱。SPM-9600是以快速觀察、操作簡單而受到高度評價的新一代SPM。

SPM廣泛的應用
    物理、化學、材料、醫學以及生命科學領域。 SPM-9600主要包括接觸模式、動態模式、相位模式、水平力模式、力調制模式、磁力模式(MFM)、電流成像模式、表面電位模式(KFM)等檢測模式，而且可以輕松升級到可控氣氛SPM（WET-SPM)。

分辨率：水平(XY): 0.2 nm 垂直(Z): 0.01 nm