設(shè)備概述

       人工手動將產(chǎn)品放置在承片工作臺上，通過承片工作臺和砂輪軸的相對旋轉(zhuǎn)，同時砂輪軸向下進(jìn)給，對承片工作臺上的產(chǎn)品進(jìn)行磨削加工，加工過程中使用在線厚度測量，控制產(chǎn)品厚度直至達(dá)到設(shè)定的目標(biāo)厚度。

|  應(yīng)用領(lǐng)域

       應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）、鍺（Ge）、砷化鎵（GaAs）、磷化銦（InP）等半導(dǎo)體材料的快速薄化，同時可用于藍(lán)寶石、陶瓷、水晶，以及棱鏡等光學(xué)產(chǎn)品的加工。

|  設(shè)備特點
? 金剛石砂輪電主軸、砂輪升降系統(tǒng)
金剛石砂輪驅(qū)動采用高速、高精度電主軸，實現(xiàn)產(chǎn)品加工，并減少產(chǎn)品的破損率，達(dá)到理想的TTV。
砂輪升降系統(tǒng)由伺服電機(jī)、諧波減速機(jī)與絲桿滑軌控制，使砂輪精確移動到加工設(shè)定位置。
? 晶片測量系統(tǒng)
通過設(shè)定初始厚度以及加工程序，使減薄加工逐步運(yùn)行，達(dá)到精確的加工厚度。
采用意大利進(jìn)口測厚系統(tǒng)，實現(xiàn)實時監(jiān)測產(chǎn)品厚度。
? 旋轉(zhuǎn)工作臺系統(tǒng)
高精密真空陶瓷吸盤載臺。
X向自動進(jìn)出料工作臺移動裝置。
? 自動冷卻液供給系統(tǒng)
加工過程中自動供給冷卻液，將加工過程中砂輪和產(chǎn)品之間由于高速磨削產(chǎn)生的熱量迅速帶走。

|  可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 單片/多片加工方式
? 接觸式/非接觸式厚度測量