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MOCVD設(shè)備
MOCVD設(shè)備

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型號

MOCVD設(shè)備

品牌

鵬城半導體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
鵬城半導體技術(shù)(深圳)有限公司

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MOCVD設(shè)備(化學氣相沉積CVD)

可用于GaN、ZnO等的外延生長。

材料的輸運采取了超純的氣路系統(tǒng),源的切換和輸入采用了多路組合閥進氣技術(shù)。由于組合閥具有極小的死空間,使得源的殘留量非常少,有利于生長具有陡峭界面的材料。


采用壓差控制技術(shù)控制組合閥的旁路和主路之間的壓力,大大降低了源的壓力和濃度波動,有利于材料生長的重復性和穩(wěn)定性。


采用了管道鑲嵌式進氣噴頭,使反應源在襯底表面均勻混合并反應,大大降低了預反應的發(fā)生。


采用電阻式快速升降溫加熱爐。


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