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■ 設備優勢
◆ 激光器自制，自主可控
◆ 工藝窗口較廣，可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行業標準
■ 應用領域
應用于碳化硅晶圓片的背金激光退火（以碳化硅材料為基板的晶圓）。
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