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使用蔡司Crossbeam使您在三維納米分析流程中獲益
將場發射電子顯微鏡的成像與分析能力與聚焦離子束的加工能力結合。
無論是刻蝕，成像或做三維分析，Crossbeam將提高聚焦離子束的應用速率。通過新的能譜模塊實現大部分的三維成分分析工作。
您可自主選擇使用蔡司 Crossbeam 340的可變氣壓功能，或者使用Crossbeam 550來滿足您急需的表征應用。
現在有更大的樣品艙室供您選擇。
低電壓電子束分辨率提升高達30%。
無論是二維表面成像或三維重構，蔡司Crossbeam的掃描電子束均可提供優異的表現。借助于Tandem decel在樣品上施加電壓，Gemini光學系統可以在1kV下獲得高達1.4nm的分辨率，從而對任意樣品均可獲得優秀的圖像。可通過一系列的探測器表征您的樣品。通過獨特的Inlens EsB探測器，可獲取純的材料成分襯度信息。表征不導電樣品可以不受荷電效應的影響。
通過FIB智能的刻蝕策略，其材料移除速率可提升高達40%。
在鎵離子類型的FIB-SEM中采用了大離子束束流。使用高達100nA的離子束束流可顯著節約時間，同時具有優秀的FIB束斑形狀，從而獲得高分辨率。得益于智能的FIB掃描策略，移除材料時高效且精準。可自動批量制取樣品，例如截面，TEM樣品薄片或任何使用者自定義的圖形。
體驗整合的三維能譜分析所帶來的優勢
可使用蔡司Atlas 5軟件擴展您的Crossbeam，它是一個針對快速而準確的三維斷層成像的軟硬件包。使用Atlas 5中集成的三維分析模塊可在三維斷層成像的過程中進行能譜分析蔡司Crossbeam將Gemini電子束鏡筒和定制的聚焦離子束鏡筒結合起來，從而獲得高精度與速度。因此FIB-SEM的斷層成像可獲得優異的三維空間分辨率和各向同性的三維體素尺寸。使用Inlens EsB探測器，探測深度小于3nm，可獲得表面敏感的、材料成分襯度圖像
| Crossbeam 340 | Crossbeam 550 | |
|---|---|---|
| 掃描電子束系統 | Gemini I VP 鏡筒 - | Gemini II鏡筒 可選Tandem decel |
| 樣品倉尺寸和接口 | 標準樣品倉有18個擴展接口 | 標準樣品倉有18個擴展接口或者加大樣品倉有22個擴展接口 |
| 樣品臺 | X/Y方向行程均為100mm | X/Y方向行程：標準樣品倉100mm加大樣品倉153 mm |
| 荷電控制 | 荷電中和電子槍 局域電荷中和器 可變氣壓 | 荷電中和電子槍 局域電荷中和器 |
| 可選選項 | Inlens Duo探測器可依次獲取SE/EsB圖像 VPSE探測器 | Inlens SE 和 Inlens EsB可同時獲取SE和ESB成像 大尺寸預真空室可傳輸8英寸晶元 注意加大樣品倉可同時安裝3支壓縮空氣驅動的附件。例如 STEM， 4分割背散射 探測器和局域電荷中和器 |
| 特點 | 由于采用了可變氣壓模式，從而具有更大范圍的樣品兼容性，，適用于各類原位實驗，可依次獲取SE/EsB圖像 | 高效的分析和成像，在各種條件下保持高分辨特性，同時獲取Inlens SE和Inlens ESB圖像 |
| *SE 二次電子，EsB 能量選擇背散射電子 |
氧化鋁球 在Crossbeam 550上使用Tandem decel拍攝
蔡司Crossbeam系列的FIB鏡筒具備獨特的100nA束流。該溝槽在硅片上刻蝕，體積為100 × 30 × 25 μm3，刻蝕時間10分鐘，使用100nA的FIB束流。注意這個結構的精度。
使用100nA束流刻蝕的溝槽
使用常規切割（左）材料去除需要10分54秒，而使用Fastmill，只需7分21秒（右）便可移除等量材料。全新開發的掃描策略- Fastmill，通過優化角度相關的濺射效應來提高切割速度。與傳統的線切割相比， Fastmill的切割速率可增加多達40%。
Crossbeam 550切割策略的比較
銀鎳銅多層結構的TEM薄片，可提取進行減薄，使用自動樣品制備功能。
TEM薄片 Ag-Ni-Cu多層結構
使用自動樣品制備功能制備TEM薄片
批量制備35個TEM薄片
在X2CrNi18-10鋼熱影響區晶界處的碳化鉻：STEM 明場像（左圖），EDS鉻元素分布圖（右圖）。
鋼的STEM圖像和
EDS的Cr元素分布圖
暫無數據！
CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統的工作原理介紹？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統的使用方法？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統多少錢一臺？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統使用的注意事項CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統的說明書有嗎？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統的操作規程有嗎？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統的報價含票含運費嗎？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統有現貨嗎？CrossBeam®高效的3D分析和樣品制備系統包安裝嗎？
移動端
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