公司背景-Global Leader in Process Control since 1976

KLA-Tencor 是全球半導體在線檢測設備市場**的供應商；

KLA-Tencor2018 年 3 月從 Keysight Technologies 公司收購了行業的龍頭產品-高精度原位微納米力學測試系統-Nano Indenter G200 和高精度微納米拉伸系統-UTM T150；

該力學設備的工廠是全球**的高精度力學測試系統的供應商，1983 年成功制造了世界上**臺商用

Nano Indenter。

該力學設備的工廠是業內**擁有超過 35 年的 Nano Indenter 生產和研究經驗的供應商，成熟的工藝保證了新一代 Nano Indenter G200 具有**的穩定性和可靠性。

該力學設備的工廠擁有*廣泛的顧客群，在高端力學測試系統領域內擁有**的的市場占有率。

1． 產品技術水平

KLA-Tencor 擁有*多的 Nano Indenter 的核心**技術，包括已成為業界標準的連續剛度測量功能、接觸剛度成像功能以及快速納米壓入測試技術等等；

KLA-Tencor 公司的連續剛度測量功能已經成為薄膜、涂層、多相材料等樣品檢測*常用的的測試技術，并已經錄入各種力學領域的國際標準和中國國家標準內。

KLA-Tencor 擁有世界上*快壓痕測試技術的**，*快可達到 1 壓痕點/秒。

2． 售后服務和技術支持

KLA-Tencor 公司在中國有超過 600 名員工，在國內配備本土 Nano Indenter 方面的技術專家，在業內擁有**的口碑。

KLA-Tencor 公司在中國擁有自己的納米科學示范實驗室，并有專職的應用專家在實驗室工作，負責用戶的應用技術支持工作；

KLA-Tencor 公司還定期地舉辦高級用戶培訓班，由公司的應用科學家為不同學科的用戶進行各個領域應用的深層次培訓。

特點和優勢

–廣受贊譽的高速測試選項可以和所有G200 型納米壓痕儀配合使用， 包括DCMII 和 XP 模塊以及樣品臺

–快速進行面積函數和框架剛度校對

–精確和可重復的結果， 完全符合

ISO14577 標準

–通過電磁驅動， 可在****的范圍內連續調整加載力和位移

–結構優化， 適合傳統測試或全新應用

–模塊化選項， 適合劃痕測試， 高溫測試

–和動態測試

–強大的軟件功能， 包括對試驗進行實時控制， 簡化了的特殊測試方法的開發

第五代原位納米力學測試系統

Nano Indenter G200

在微/納尺度范圍內的加載和位移構成精確的力學測試

應用

–半導體器件， 薄膜

–硬質涂層， DLC薄膜

–復合材料， 光纖， 聚合物材料

–金屬材料， 陶瓷材料

–無鉛焊料

–生物材料， 生物及仿生組織等等

先進的設計

所有的納米壓痕試驗都取決于精確的加載和位移數據，要求對加載到樣品上的 載荷有精確的控制。KT**的第五代 G200 型納米壓痕儀采用電磁驅動的載荷裝置，從而保證測量的精確度，獨特的設計避免了橫向位移的影響。

KT**的第五代 G200 型納米壓痕儀的杰出設計帶來很多的便利性，包括方便的測試到整個樣品臺，精確的樣品定位，方便的確定樣品位置和測試區域，簡 便的樣品高度調整，以及快速的測試報告輸出。模塊化的控制器設計為今后的 升級帶來極大的方便。

此外，**的第五代 G200 型納米壓痕儀完全符合各種國際標準，保證了數據的完整性。客戶可以通過每個力學傳感器自主設計試驗，在任何時候對其進行切換，同時整個設備占地面積小，適合各種實驗室環境。

2017年獲得聯合國教科文組織頒獎的納米科技領域的創新技

NanoSuite的特點和優勢

–極其靈活、精確的數據采集和控制

–不斷更新的測試方法

–**的批處理測試功能

–新型的 2D 圖形輸出功能

–測試數據更有效的分析功能

–PDF 測試數據的直接輸出

–優越的自我定制測試模型的建立

–非常方便的個性化測試方法的建立

–功能齊全完善的圖像處理功能

–用戶可輕松的編輯自己的測試方法以滿足特殊的應用與需求

–定制化的測試方法同樣可滿足 ISO14577 國際標準

–提供專業的建模和仿真軟件， 幫助用戶實現特殊的離線研究需要

KLA-Tencor技術顧問服務

KT擁有一支經驗豐富的技術支持和服務工程師團隊，可針對客戶的 特殊應用與測試需求提供定制化的技術顧問服務。

經過超過 35 年的發展，NanoSuite 已經成為業內公認的界面友好、操作簡便、功能齊全的數據采集和處理軟件包，NanoSuite 不僅可以自動測試，也可以使用戶利用網絡遠程遙控進行實驗控制，NanoSuite 不僅能夠做到壓入過程中硬度和彈性模量等力學性能的實時計算和顯示，同時允許用戶根據自 己的研究需求以及提出的新模型隨時添加新的軟件通道，此外，根據實驗參 量的變化快慢能夠自動調整數據的采集速率，實現了智能化的數據采集功 能，從而既獲得您真正需要的數據，又可避免不必要的垃圾數據。

增強的載荷加載系統

新一代 Nano Indenter G200 系列納米壓痕儀是具有從納牛到牛頓*為完整的加載力范圍，并且不同的加載裝置可自動軟件切換，整個測試流程都是全 自動的，極大的提高了測試數據的可靠性和可重復性，避免了可能的人為因 素的影響，確保每個測試都是合理、一致、精確。

標準的加載裝置

Nano Indenter G200 納米壓痕儀標準配置是 XP 加載系統 (**為500mN)， 位移分辨率< 0.01納米，**壓入深度>500 微米，該裝置可應用到所有的測試功能。壓頭更換輕松完成，非常好的機架剛度極大的減少了系統對測試的 影響。

高精度加載裝置

DCM II 是高分辨的納米納牛力加載模塊，它既可以單獨工作，也可以作為一個附件與Nano Indenter G200 協同工作。由于其慣性質量很低，使得納米壓痕中的初始表面的選取更加靈敏、精確， DCM II 在超低載荷下的納米壓痕測試具有極高的精確度和可重復性，由于它自身的空載共振頻率遠高于一般建筑物的振動頻率，這就使得一般的環境振動對它幾乎沒有影響，DCM II 具有很寬的動態頻率范圍 (0.1 Hz 到 300 Hz)，所有這些特點使得 DCM II 可以提供同類設備不可比擬的高信噪比和高可靠性的試驗數據，例如右圖所示的藍寶石上三個納米深度的壓痕測試，在幾個納米的壓痕深度范圍內獲得了非常可靠的彈性模量。

大載荷加載裝置

Nano Indenter G200的大載荷加載選件，大大強化了 G200 系列納米壓痕儀的應用范圍。這個選件可以用于標準的 XP 加載模塊，將 G200 型納米壓痕儀的加載能力擴展至 10N，可對陶瓷、金屬塊材和復合材料進行力學表征。大載荷選件的巧妙設計，使得 G200 既避免了在低載荷的情況下犧牲儀器的載荷和位移精度，同時又保證了用戶在需要大加載力的測試時，通過鼠標操作就可以在測試實驗中進行無縫加載裝置切換。