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規(guī)格＆應用：
-半自動探針臺＆全測量.
-12英寸低噪音卡盤，陶瓷Pa.
-X，Y轉臺行程300 x 300mm， 分辨率5um.
-Z轉臺：上/下移動距離 15mm.
-CCD攝像機：全高清210M像素.
-定位器：微型定位器主體單元PB100，真空底座分辨率1um，行程13mm.
-選項：暗箱；振動臺；熱夾頭；Seebeck效應加熱探頭 等........
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