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規格＆應用:
-8英寸真空低噪音卡盤.
-X，Y轉臺：行程200mm x 200mm， 分辨率：5um
-定位器：微型定位器主體單元 PB100.
真空底座分辨率，1um 行程：13mm.
-CCD Camera: 2. 1M Pixel ，30 Fraim
-選項：暗箱；振動臺；熱夾頭；Seebeck效應加熱探頭 等........
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