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立式爐設備
立式爐設備

參考價格

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型號

立式爐設備

品牌

盛美半導體

產地

美國

樣本

暫無
盛美半導體設備(上海)股份有限公司

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主要優勢

具有高產、可靠和穩定的性能。通過高精度的溫度控制技術、良好的均勻性和小顆粒控制,來保持優異的薄膜質量;

通過更高性能的增強設計實現高產能,并減少停機維護時間;

運用氣體對腔體進行干法清洗,來控制小顆粒雜質;

裝載區運用低氧控制技術以抑制晶圓表面的自然氧化。


特性和規格

可以一次性操作裝載的晶圓數量為50-125片(晶圓/批)

可配備快速升降溫控制系統

腔體原位干法清洗系統


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