KOSAKA LAB ET 4000臺階儀(探針接觸式輪廓儀/微細形狀測定機)（Microfigure Measuring Instrument）

產品介紹 株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本**家發表光學干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商，主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為**代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多動能、自動化、可添加一款3D軟件，掃出測量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自動化的，針對體積較大的樣品可與大型精密貴重玻璃或晶片尺寸樣品) ，ET4000M(Y軸方向手動移動、性價比高、易于使用) ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的穩定性、高精度和強大的功能。在平板顯示器FPD，晶片，硬盤和其他納米尺度上的應用廣泛。

主要特點：

（1）**的臺階再現性與線性度。

（2）超高真直度，可確保量測圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進行長距離測量。

（3）采用超低噪音直動式 LVDT，超低測定力的觸針可任意調節。

（4）配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量。

（5）可對應各種國際規范，測定參數多達 60 多種。

（6）適用于各種與納米材料有關的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。

技術參數 一、測定工件：

1. **工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm

2. **工件厚度 50mm

3. **工件重量 2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z 方向測定范圍 Max. 100μm

2. Z 方向分解能 0.1nm

3. 測定力 0.5 μN to 500 μN

4. 觸針半徑 0.5 ， 2 μm

5. 驅動方式 直動式

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移動量(**測長) 100mm

2. 移動的真直度 0.005μm/5mm

3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S

4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S

5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm

6. 位置定位再現性 ± 5μm

7. 滑軌 材質為在鑄鐵(CD-5)上，鍍上硬質 Cr，無潤滑(于移動臺側，使用鐵弗龍折動材料)

8. 驅動 DC motor + Dynamic belt

四、Y 軸(位置決定用)：

1. 移動量 52mm

2. 移動速度 max.3mm/S

3. 滑軌 Crose roller 滑軌

4. 驅動 DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)

5. 檢出器自動停止機能

五、工件臺：

1. 工件臺尺寸 210mm×210mm

2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm

3. 分解能 0.25μm

4. 驅動 pulse motor

六、全自動量測功能

七、工件觀察 max. 80倍(可選購其它高倍率 CCD)

八、床臺 材質為花崗巖石

九、段差測定再現性 1δ， 5A°以內

十、防振臺(選購) 落地型或桌上型

十一、電源 AC100V±10%，50/60HZ，800VA

十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺)