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Plasma Etch PE75等離子清洗機
Plasma Etch PE75等離子清洗機

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美國

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上海昭沅儀器設備有限公司

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美國產(chǎn)Plasma Cleaning System臺式實驗室等離子表面處理機

等離子表面處理機是一種非破壞性的表面處理設備,它是利用能量轉(zhuǎn)換技術,在一定真空負壓的狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性極高的氣體等離子體,氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗,在極短時間內(nèi)有機污染物就被外接真空泵徹底抽走,其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì),所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性,也能對樣品進行消毒和殺菌。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、高分子、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。小型等離子清洗機以體積小、成本低、操作簡便等特點廣泛應用于科研及小批量生產(chǎn)場合。

PE成立于1980年,致力于提供電子行業(yè)用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發(fā)展,公司發(fā)展成為提供等離子設備方面的專家,可為客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品和解決方案,先后眾多知名企業(yè)提供等離子處理設備:美國宇航局NASA, 美國波音Boeing,電子保安系統(tǒng)產(chǎn)品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer,世界軍用飛機的領軍企業(yè)美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介紹

PE擁有多項***,在開發(fā)和制造等離子設備方面有許多突破性創(chuàng)新,擁有等離子體技術和制造技術領域里有優(yōu)勢的技術。這些**技術的產(chǎn)品線是公司獨有的,生產(chǎn)的等離子設備是業(yè)界公認的集清洗速度、完整均勻性、安全可靠性為一體的等離子處理設備。

PE-75參數(shù):

外部尺寸 18in X19in X 24in
真空腔材質(zhì)耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸Φ254mm*273mm深
電極尺寸228mm*254mm,
等離子發(fā)生器功率 max.400w(可調(diào))頻率:50KHz(可選配13.56MHz)
供氣氣體流量控制器 0-25cc/min w/精密針形閥
壓力測量熱電偶真空計 0-1Torr
控制器PLC微電腦控制系統(tǒng)。方案工藝可以進行自動處理
安全保障一鍵急停按鈕
電源220VAC,14A
附件(可選件)抽氣裝置:推薦型號:5 CFM 2級 直驅(qū)真空油泵

?氧氣發(fā)生器

?附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min

?125w/300w, 13.56Mhz可自動調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器

升級裝置:?PC /筆記本電腦的控制系統(tǒng):裝載有等離子蝕刻軟件的一臺筆記本電腦是包括全自動系統(tǒng)操作,

流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。

?質(zhì)量流量控制器:附加質(zhì)量流量控制器也可提供。

處理實例:ITO玻璃等離子處理后親水性及比表面能對比

處理前:36號達因筆測試立刻收縮 處理后:50號達因筆 測試合格

功能:? 對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進行超AA清洗。

? 改變某些材料表面的性能。

? 使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。

? 清除金屬材料表面的氧化層。

? 對被清洗物進行消毒、殺菌。

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