INFICON 公司生產的BCG 450 型B – A 皮拉尼電容薄膜真空計

將三種不同的規管綜合在一個小型經濟的規管中，測量過程

壓強和基本壓強從5×10-10 至 1500 毫巴(3.75 ×10-10 至1125

乇)。BCG 450 用于取代三種傳感器（熱離子，對流增強型

皮拉尼和真空開關），從而節省成本和寶貴的空間。

用戶優越性

􀂠 BCG 450 節省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與

設置的復雜性

􀂠 10 乇以上的與氣體類型無關的壓強測量，對許多混合氣體

提供更可靠的自鎖控制

􀂠 皮拉尼聯鎖保護熱燈絲，防止過早燒毀

􀂠 自動的高真空和大氣壓皮拉尼調整，無需操作人員干預

􀂠 相對于大氣壓的差壓測量免除了與大氣壓變化有關的不穩定性

􀂠 傳感元件容易更換，帶機載校準數據保證數據的再現性

􀂠 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

典型應用

􀂠 半導體工藝，傳送和自鎖室的壓強測量

􀂠 工業鍍膜

􀂠 在低至超高真空范圍中系統的一般真空測量和控制