INFICON 生產的Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計， BPG402-S，兩

種真空計集成在一個小型的單元內，測量范圍從5x10-10 毫巴至大

氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓). 復合的技術降低了安裝，設置和集成

的復雜性.在一個小型外殼內裝有雙敷涂釔的氧化銥燈絲的

BPG402-S 用于頻繁與重復的工藝過程中測量基本壓強. 帶有在

機校準數據的敏感元件保證更換傳感器的高度再現性.

優點

極寬的測量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)

極好的重復性，過程壓強范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護燈絲，防止過早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲

可選圖形顯示和現場總線接口

自動高真空皮拉尼調整，減少操作人員的干預

容易更換具有在機校準的傳感元件，保證高度重復性

應 用

半導體工藝和輸送室中的壓強測量

工業鍍膜

一般真空測量和控制，從低至超高真空范圍