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- 放大倍率 : 30x ~ 100，000x 分辨率5nm
- 加速電壓 : 5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)
■ 規格
- 樣品移動距離
: X: 20 mm， Y: 20 mm，
Rotation : 360°
Tilt : 0~45°， Z : 0~30 mm
- **樣品尺寸 : 直徑80mm
- **樣品厚度 : 35mm
■ 系統結構
- 電子槍: 預對準鎢燈絲
- 檢測系統 : 二次電子探測器
- 真空泵：
旋轉式真空泵100L/min
渦輪分子泵80L/S
■ 設備主要構成
- 筆記本電腦 1臺
- 電子掃描顯微鏡主體一臺
- 燈絲5個
- 載物臺 15mm dia (10pcs/set)
25mm dia (5pcs/set)
15mm 45°tilt(5pcs/set)
15mm 90°tilt(5pcs/set)
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