Semiconsoft MProbe薄膜測厚儀

M p r o b e 讓 你 成 為 測 量 專 家 !

大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速、可靠的測量：

氧化物、氮化物、感光耐蝕膜、聚合物、半導體(Si， aSi，polySi)、半導體化合物(AlGaAs，InGaAs，CdTe，CIGS)、硬涂層(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (Paralene， 聚甲基丙烯酸甲酯， 聚酰胺)， 薄金屬薄膜等。

厚度范圍: 1 nm-1 mm

波長范圍: 200nm -5000nm

在薄膜太陽能電池中的應用:

aSi， TCO， CIGS， CdS， CdTe-全太陽能堆棧測量

LCD， FPD應用:

ITO， 細胞間隙，聚酰胺。

光學涂層:

介質濾波器，硬涂層，防反射涂層半導體和電解質: 氧化物，氮化物， OLED堆。

實時測量和分析。各種多層次的， 高強度的，厚的， 獨立和不均勻的層 。

豐富的材料庫 (500多種材料) – 新材料容易增添。

支持參數化材料:

Cauchy， Tauc-Lorentz， Cody-Lorentz， EMA 等?

使用靈活:

可聯網在操作臺桌面或現場進行研究與開發。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系統連接。

測量參數：

厚度、光學常數、表面粗糙度。

界面友好強大:

測量和分析設置簡單。背景和縮放修正，連接層和材料。

離線數據分析：

仿真和靈敏度分析，多樣品測量，生產批量處理。

MProbe系統示意圖

主要參數

* T， n & k 測量的厚度范圍為25nm – 5um

其他配置也是可以做到，歡迎原始設備制造商咨詢和定制開發項目。

對所有系統中的配件有一年的質量保證。