儀器簡介：

CSPM5500是本原納米儀器有限公司于2008年8月研制成功的新一代掃描探針顯微鏡，其功能齊全、性能優越、運行穩定、使用方便，非常適合用戶開展納米研究工作。

技術參數：

(1)國際主流的研究級專業儀器，集成原子力顯微鏡(AFM)，橫向力顯微鏡(LFM)，掃描隧道顯微鏡(STM)

(2)分辨率：

原子力顯微鏡：橫向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶體標定）

掃描隧道顯微鏡：橫向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶體標定）

(3)高精度計量型儀器，采用NanoSensors提供的可溯源于國際計量權威機構Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的標準樣品進行校準

(4)一鍵式快速全程全自動進樣，無需手動預調，行程大于30mm，可容納超大樣品

(5)兩級可讀數樣品調節機構，可對樣品進行精確的檢測區域定位

(6)一次掃描技術，圖像分辨高達4096×4096物理象素，微米級掃描即可得到納米級的實際信息

(7)先進PID反饋算法實現快速高精度作用力控制，確保系統在高速掃描中穩定成像，實際掃描速度提升一個數量級

(8)系統采用10M/100M快速以太網(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0與計算機連接

(9)主控機箱前面板具有16×4液晶顯示屏，系統當前狀態實時顯示

(10)具備實時在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測過程中隨時直觀獲得樣品信息

主要特點：

(1) 標準配置：

原子力顯微鏡(AFM)：包括接觸、輕敲、相移成像(Phase Imaging)等多種工作模式

橫向力顯微鏡(LFM)：具有摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷曲線等摩擦學性能分析測量功能

掃描隧道顯微鏡(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲線、I-Z曲線等

曲線測量分析功能：力-距離曲線、振幅-距離曲線、相移-距離曲線等

(2)選配功能：

納米加工：包括圖形刻蝕模式、壓痕/機械刻畫、矢量掃描模式、DPN浸潤筆模式等；

磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡；

環境控制掃描探針顯微鏡；

液相掃描探針顯微鏡；

導電原子力顯微鏡；

掃描探針聲學顯微鏡；

掃描開爾文探針顯微鏡；

掃描電容顯微鏡；

壓電力顯微鏡