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從軟件到硬件凝結了新技術，鑄就了新一代EPMA。島津EPMA在保持了一貫的高靈敏度·高精度·高分辨率的基礎上，又新增了簡單·易懂的操作性能，將電子探針功能發揮至極。既可滿足初學者簡易操作的需求，又能適合專家級的科研分析。
范圍
· 分析元素：4Be~92U
· 發射源；W燈絲，CeBe燈絲
· 二次電子圖像分辨率：6nm(W燈絲），5nm(CeBe燈絲）
· X射線取出角角度：52.5°，大限度減少X射線被吸收
· 分光晶體：全聚焦型
· X射線譜儀：高靈敏度、高分辨率型
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