Cressington 208HR SPUTTER COATER 超高分辨濺射鍍膜儀

分子泵超高分辨非晶層鍍膜，電鏡放大倍率可到300K也不會看到鍍膜顆粒，非常適合于現(xiàn)階段超高分辨場發(fā)射電鏡或雙束電鏡，電子探針等，如 FEI Nova， Megglen， Verios， Helios等， 日立電鏡的SU80000， SU8200， S4800， 9000系列等， 日本電子 7600F， 7800F等， 蔡司的Merlin， Ultra， Gemini， Auriga系列等。

分子泵超高分辨鍍膜，放大倍率可到30-60萬倍也不會看到鍍膜顆粒，適用于現(xiàn)階段超高分辨場發(fā)射或雙束電鏡使用如FEI Nova，Megglen，Verios，Helios等; Hitachi SU8000，SU8200，S4800，9000等; JEOL 7600F 7800F等; ZEISS Merlin，Ultra，Auriga;

為了答謝廣大中國電鏡工作者對于英國Cressington產(chǎn)品信賴和支持，以及對于溢鑫科創(chuàng)工作的配合和支持，我司和英國原廠特舉辦回饋優(yōu)惠活動：購置超高分辨208HR鍍膜系統(tǒng)，將贈送超高分辨膜厚監(jiān)控儀MTM-20以及高性能旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺。

• **磁控冷態(tài)噴鍍

  **冷態(tài)鍍膜設(shè)計使用真正的“平衡磁控管”沒有等離子體電流在樣品，在得到高分辨非晶鍍膜層同時避免樣品受到熱損傷，對熱損傷或輻照損傷敏感樣品尤為適合

• 廣泛的鍍層靶材選擇

  特殊雙極磁控管頭設(shè)計和有效的氣體離子處理使得208HR擁有廣泛多種鍍層靶材選擇

• 全自動化設(shè)計

  自動的換氣與泄氣功能，濺射電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制保證了均勻一致的膜厚，和**的導(dǎo)電噴鍍效果。

• 超高精度膜厚監(jiān)控設(shè)計

  使用可選MTM-20全自動高分辨膜厚監(jiān)控儀可優(yōu)化設(shè)計鍍膜條件達(dá)到0.1nm膜厚可控效果

• 多用途樣品托設(shè)計

  獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)，水平和傾斜 3軸移動設(shè)計優(yōu)化了多樣品以及不規(guī)則樣品的均勻一直鍍膜

• 可變的樣品室?guī)缀卧O(shè)計

  為了優(yōu)化鍍層結(jié)構(gòu)樣品室?guī)缀卧O(shè)計可用于調(diào)整噴鍍速度從1.0納米每秒到0.002納米每秒

• 廣泛的操作氣體壓力

  獨(dú)立的電壓，電流以及壓力回路控制系統(tǒng)允許可操作氬氣壓力從0.2-0.005mbar真空度

• 緊湊型時尚桌面式設(shè)計

  節(jié)能，緊湊設(shè)計消除了對于樓層空間要求，水要求和專業(yè)電氣連接要求

鍍膜不同多樣樣品

超高分辨208HR鍍膜系統(tǒng)現(xiàn)在針對噴鍍不同電鏡樣品提供了*理想的解決方案。為了減小噴鍍晶粒尺寸影響，208HR提供一套全系列的鍍膜靶材材料和****的膜厚鍍層控制條件。為了更小優(yōu)化充電效果，208HR的特殊樣品臺設(shè)計和大范圍的操作壓力提供了高精度的鍍膜一致性和統(tǒng)一性。 高低樣品室的配置也提供了更為方便的工作距離調(diào)整。

可調(diào)式旋轉(zhuǎn)傾斜水平樣品臺超高分辨全自動膜厚監(jiān)控儀 MTM-20

208HR超高分辨鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：

樣品倉尺寸： 150mm 直徑， 三個高度可調(diào)，適用高度不同樣品，高強(qiáng)度硼硅酸鹽玻璃

濺射管頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩

噴鍍靶材：鉻，鉑/鈀 標(biāo)配， 金，鎢，銅，鋁，銥，銀等選配，其他材料按客戶需求提供

濺鍍優(yōu)點(diǎn)：基于微處理器反饋控制，遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)；提供真空安全聯(lián)鎖裝置，**180A，配有過流保護(hù)，數(shù)字化可選電流（20，40，60 或80毫安）

樣品臺：可放置12個標(biāo)準(zhǔn)EM樣品座，0到90度傾斜可調(diào)的旋轉(zhuǎn)水平樣品臺

模擬計量：真空 Atm - 0.001mb 電流: 0 – 80mA

控制方式： 全自動噴鍍控制，自動卸真空自動進(jìn)氣功能，使用可編程電壓控制和計時數(shù)字計時 (0 – 300秒)以及暫停設(shè)計；全自動真空監(jiān)測系統(tǒng)

真空系統(tǒng)： 標(biāo)配無油分子泵真空以及機(jī)械泵真空系統(tǒng)，泵抽速達(dá)到每秒70L，1.5分鐘內(nèi)抽到真空度到1 x 10-4 mbar， 極限真空優(yōu)于5 x 10-6 mbar，附帶減震臺的桌面式真空泵設(shè)計，全金屬耦合系統(tǒng)

全自動超高分辨膜厚監(jiān)控儀技術(shù)規(guī)格：

MTM-20 基于微處理控制，4位顯示系統(tǒng)，6MHZ晶體監(jiān)探器，每秒5次實時監(jiān)控 MTM-20

膜厚監(jiān)控范圍： 0到999.9納米

分辨率： 優(yōu)于0.1納米

密度范圍：0.50到30.00gm/cm3

安裝環(huán)境要求：

電源：200-240 VAC， 50/60Hz

功率：550VA

氬氣要求：99.99% 純氬氣，壓力設(shè)定0.5/0.6 bar， 6.0mm管路接口

設(shè)備尺寸：寬600mm， 深600mm，高450mm， 重量40kG

備注：為保證銷售渠道正規(guī)，配套方案先進(jìn)及統(tǒng)一的市場管理和售后服務(wù)，英國cressington在各個國家都只設(shè)**授權(quán)代理，中國官方授權(quán)總代為：溢鑫科創(chuàng)Yi Xin Technology，詳細(xì)信息請參考英國原廠官方網(wǎng)址。