SU8020--日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU8000系列

產(chǎn)品介紹：

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測(cè)器設(shè)計(jì)上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號(hào)，實(shí)現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結(jié)晶襯度和電位襯度的觀測(cè)；結(jié)合選配的STEM探測(cè)器，還可以實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像的觀測(cè)；此外在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測(cè)器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號(hào)的采集，對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。

特點(diǎn)：

1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm

2. 日立**的ExB設(shè)計(jì)，不需噴鍍，可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品

3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器

4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像

5. 可以根據(jù)樣品類(lèi)型和觀測(cè)要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能

6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶(hù)自行完成