高精度快速壓電陶瓷偏擺鏡

高動態，帶大偏轉角用于反射鏡和光學元件

S-330

分辨率達20納弧度

優異的位置穩定性

光束偏轉達20毫弧度（>1度）

并聯運動實現更高精度和動態和全橋應 變片傳感器

亞微秒級響應時間

用于直徑長達50 毫米的反射鏡

應用領域

圖像處理/穩定

光學捕獲

激光掃描/光束偏轉

激光調諧

光學過濾器/開關

光學

激光束穩定

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對振動和沖擊不敏感。 它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub- D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

并聯運動實現高動態多軸操作

在并聯多軸系統中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有*小的質量慣性和相同的設計，可實現快速、動 態和精密的運動。