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徠卡Leica EM ACE200真空鍍膜儀
徠卡Leica EM ACE200真空鍍膜儀

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德國

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迪卡爾科技(天津)有限公司

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為SEM和TEM分析生產(chǎn)同質(zhì)和導(dǎo)電的金屬或碳涂層,之前從未有過比與Leica EM ACE200涂層系統(tǒng)更方便的設(shè)備了。 配置為濺射鍍膜機或碳絲蒸發(fā)鍍膜機后,可以在全自動化系統(tǒng)中獲得完全可重復(fù)的結(jié)果,實現(xiàn)了一臺EM ACE200具有噴金儀,噴碳儀,蒸鍍儀三種功能。如果您的分析需要這兩種方法,徠卡顯微系統(tǒng)在一臺儀器中提供可互換機頭的組合儀表。 各個選項,如石英晶體測量、行星旋轉(zhuǎn)、輝光放電和可交換屏蔽共同構(gòu)成這臺低真空鍍膜機

技術(shù)參數(shù):

1、適用于常規(guī)SEM/TEM/DEX噴涂要求

2、可選離子濺射模式、碳絲蒸發(fā)模式、或雙模式、可選揮發(fā)放電功能

3、方向型離子濺射模式,可提高平面樣品鍍膜效果,獨特的脈沖式碳絲蒸發(fā)模式,實現(xiàn)對碳膜厚度的控制

4、可選配石英膜厚監(jiān)控器,可程序化控制膜厚,并反饋鍍膜儀,精度為0.1nm

5、標配有鍍膜金屬擋板,可用于干預(yù)濺射,確保鍍膜純度

6、**設(shè)計方形樣品室,尺寸:140mm寬x145mm深x150mm高,樣品臺直徑80mm

7、工作距離:30-100mm

8、濺射電流:≤150mA

9、極限真空度:≤7x10-3mbar

10、一體化觸摸控制界面,操作簡單

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