軟件包

配的PC

Win 7

自動3D打印

Rhino 3D CAD與SliceLas，LightFabScan

快速的流程開發

具有腳本語言的Scan2D，JS_AxisHost，LaserControl

3D顯微鏡

顯微鏡物鏡

10Ox， NA=1.4， f=1.6 mm

40x， NA=0.6， f=4 mm

20x， NA=0.4， f=8 mm

掃描范圍 xy

140 x 140 pm²

350 x 350 pm²

700 x 700 pm²

行程范圍 z

300 pm

> 300 pm

> 300 pm

分辨率xyz

5 nm

11 nm

22 nm

重復率 xyz

lOnm

25 nm

50 nm

**寫入速度 xy

30 mm/s

80 mm/s

160 mm/s

**定位速度 xy

120mm/s

300 mm/s

600 mm/s

定位時間 z

<20 ms

< 20 ms

<20 ms

可加工的尺寸(以玻璃材料為例)

120x80x0.3 mm³

120x80x2 mm³

120x80x7 mm³

線性步進軸

激光與調制器

Wavelength preset at factory

行程范圍 xy

120x80 mm²

波長

1030 nm

515 nm

行程范圍 z

25 mm

光束質量

1.3

1.3

分辨率 xy

50 nm

**功率

4 W

2 W

分辨率 z

100 nm

**脈沖能量

4 pj

2 pJ

重復率 xy

150 nm

重復率可調

100 kHz-10 MHz

重復率 z

1 pm

脈搏持續時間可調

400 fs-

5 ps

**定位速度 xy

300 mm/s

激光電源自動控制

0-100%

**定位速度 z

10 mm/s

選項和配件

激光參數出廠設置例如 用于熔融石英的選擇性激光刻蝕或聚合物的雙光子吸收

4個75 x 25 mm2滑塊的通用樣品架或樣品架

適應各種顯微鏡物鏡的適配器

0-360°電動控制線性極化，圓極化

選擇性激光刻蝕LightFab3D打印機

SLE（選擇性激光刻蝕技術）一種新的激光技術，用于快速制造由空腔、通道、甚至移動部件組成的透明材料制成的三維設備。

SLE主要分為兩步：在**步驟中超短脈沖激光輻射被聚焦到微米大小的焦點，以**對透明材料改性的方式對材料曝光。這種激光改性是沒有裂縫和高精度的，不能和三維圖像組成的帶有微裂紋玻璃混淆。通過焦點的三維掃描，可以在玻璃內部形成一個任意連通的三維形狀。第二步是顯影的過程，通過在工件表面上的濕化學蝕刻除去改性材料。

對于選擇性激光刻蝕的精度和刻蝕的選擇性息息相關。選擇性是改性材料刻蝕率和未處理材料刻蝕率的比值。例如在石英玻璃的選擇性大于500:1，使得小錐度長細通道的結構可以形成。因此，通過SLE技術可以產生復雜的三維腔，這類產品，是例如微流體結構和微結構的3D部件的基礎。

SLE優勢是高精度，無雜物，真正的3D性能和我們的lightfab 3D打印機的高處理速度。因此，SLE技術是**的數字3D打印透明材料組件的方法。

目前，我們實現SLE加工過程主要包括從2D和3D-CAD模型中獲得的各種通用文件格式和直接激光刻寫路徑生成。這樣的設計可以輕松加工和測試，例如：快速的磨具制造。在為您的特殊應用識別出適合的原型之后，由于LightFab 3D打印機在市場上****的速度，甚至可以在同一系統下進行系列生產。對于單一設計的大量生產，我們的設備帶有為客戶定制的高速的掃描振鏡。

材料

選擇性

目前利用選擇性激光刻蝕可以做成的結構

熔融石英

500-1500

3D結構厚度可以達到 7mm

藍寶石

-10000

2.5D切割厚度可達 0.5mm

硼硅酸鹽玻璃

<10

1mm通孔，高圓錐度

硅酸鋁玻璃

<50

單微通道

熔融石英的加工特

目前技術水平

切角

沒有限制

x，y*小通道寬度

10pm

z*小通道高速

20pm

表面粗糙度 Rz

1pm

x，y**精度

+-1pm

z**精度

+-2pm

**工件尺寸 x/y/z

100mm x 200mm x 7mm

**通道長度

10mm