XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。

掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm×100 μm， 10 μm×10 μm )

Z掃描器

柔性引導(dǎo)高力度掃描器

掃描范圍: 12 μm (可選 25 μm)

樣品臺

XY臺工作范圍: 13 × 13 mm

Z臺工作范圍: 29.5 mm

聚焦臺工作范圍: 70 mm

光學(xué)系統(tǒng)

可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)

10X 物鏡 (可選20X）

視場: 480 × 360 μm

CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）

電路系統(tǒng)

高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS

**圖像尺寸: 4096 x 4096像素， 16個數(shù)據(jù)圖像

信號輸入： 在500kHz取樣時， 16位ADC的20個通道

信號輸出： 在500kHz取樣時， 16位ADC的21個通道

同步信號 ：圖像結(jié)束， 線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號

主動Q控制(選配)

懸臂梁彈性常數(shù)校準(zhǔn)(選配)

CE Compliant

電源 : 120 W

信號處理模塊 (選配)