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PE-100美國進口RIE等離子刻蝕機
PE-100美國進口RIE等離子刻蝕機

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邁可諾技術有限公司

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臺式小型機,PLC人機自動控制,簡單易用,適用于實驗室及小批量工業生產中材料表面清洗、蝕刻、活化等工藝。

提供三種功能配置:

1. 常規的等離子清洗和等離子刻蝕

2. 反應離子刻蝕(RIE)

3. 可轉換結構(包含可以進行各向同性和各向異性的等離子工藝)可拆卸的托盤構造。

等離子刻蝕機技術參數:

設備型號:PE-100

腔體尺寸:長方形腔體,長度305 x深度368 x高度305mm;

腔體材質:T-6鋁合金一體成型;

腔體容積:34升;

射頻電源:13.56MHz;0~300W自動調節;

工作壓力范圍:1-2000 mT;

氣體流量控制:0-50cc/min帶精密針閥;

皮拉尼真空計: 0-1Torr;

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