*1尋找目標位置：指確認正在觀察的樣品位置和尋找要觀察的樣品位置的操作。一般情況下，電子顯微鏡放大倍率較高，不僅僅需要觀察局部圖像，還要觀察整體的圖像。

*2雙軸馬達臺：根據操作人員的觀察需求，可自動將樣品移動到SEM圖像拍攝位置的裝置。

另外，在確認拍攝的SEM圖像時，由于SEM圖像放大倍率高，找到所有SEM圖像的觀察位置需要花費一定時間。而這兩種機型可使用軟件將低倍率和高倍率SEM圖像的位置關系進行關聯，并將結果顯示在顯示器上，使各圖像的位置更為直觀。

兩種機型經過全新設計，尺寸和重量比前代機型更小，還可選配光學相機和雙軸馬達臺，今后將會被應用到更廣泛的領域。