應用：

◆各種材質及薄膜應力分析。

◆ 其他型號：FLX-3300 (適用于12”樣片)

技術參數：

Toho FLX-2320-S薄膜應力計精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。

主要特點：

◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統可自動選擇**匹配之激光源；

◆系統內置升溫、降溫模擬系統，便于量測不同溫度下薄膜的應力，溫度調節范圍為-65℃至500℃；

◆自帶常用材料的彈性系數數據庫，并可根據客戶需要添加新型材料相關信息至數據庫，便于新材料的研究實驗；

◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔；

◆具有薄膜應力3D繪圖功能。