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| Apex® RF電源系統(tǒng) |
| 通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統(tǒng)採(cǎi)用複雜的射頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，在適合於反應(yīng)室安裝的模組化設(shè)計(jì)中提供增大的產(chǎn)品和製程可靠性。Apex 平臺(tái)在針對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示器或資料存儲(chǔ)製造以電漿為基礎(chǔ)的薄膜製程中表現(xiàn)優(yōu)異。 |
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