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應用：
◆半導體、研究所等需要用到晶圓分揀的單位。
技術參數：
Genmark 公司的Sort-Max是一種快速、穩定、潔凈的晶圓分揀器。Sort-Max可以適用于100mm~300mm的晶圓或光罩。它的功能包括分揀、檢查、lot分離、儲存、合并、ID掃描和FOUP平衡等。
主要特點：
◆快速、穩定、潔凈；
◆可定制化；
◆吞吐量高；
◆自我調節。
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