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精密主動隔振光學平臺DVIA
精密主動隔振光學平臺DVIA

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北京

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北京卓立漢光儀器有限公司

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DVIA主動隔振光學平臺

DVIA-MB,專門為SEM和TEM顯微鏡設計主動隔振平臺

精密主動隔振光學平臺DVIA特點:

具有非常優秀的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率

采用慣性傳感器,可以檢測出六個自由度的振動并做補償

采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm

進口精密主動隔振光學平臺

隔振性能優異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導體檢測設備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等

精密主動隔振光學平臺DVIA技術指標:

固有頻率:0.5-100Hz

自動平衡,響應時間短,平衡速度快

鋼蜂巢內核:鋼制蜂窩芯,鋼板厚度0.25mm,每個蜂巢面積3.2cm2

表面平整度:±0.1mm /600 mm2

臺面:4.0mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼

底面:4.0mm厚碳鋼,表面氧化處理

邊墻板:2.0mm厚碳鋼,包裹高阻尼聚乙烯材料

孔徑: M6 (英制螺孔可選)

孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),*外邊孔距平臺邊緣37.5mm

螺孔密封:每個螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封,方便清潔

阻尼隔振方式:寬帶阻尼

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