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韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡
韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡

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韓國

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上海德心貿易有限公司

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SNE-3000MS型臺式掃描電鏡是韓國SEC公司研制的基本型Mini-SEM,非常適合于主要用SEM在1萬倍放大倍率下進行表面觀察的用戶。其分辨率為15nm,**放大倍數為6萬倍;可通過U.I界面中鼠標控制簡單、方便地操作3軸載臺移動;能使用多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結果

技術參數:

電子光學系統

分辨率

15nm30kV, 二次電子成像)

放大倍率

20x~60,000x

加速電壓

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探測器

二次電子探測器(SE

電子槍

預對中鎢燈絲

載臺系統

載臺運動

3軸系統 (X, Y, R)

X, Y-: 40mm / R-: 360°

* 影像偏移 : ±150μm

* Tilt- : 0~45°(選配)

**樣品尺寸

70mm(Φ)*30mmH

成像系統

自動功能

自動啟動,自動聚焦,自動消像散,自動調節對比度與亮度

圖像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系統

真空模式

高真空

真空泵

旋轉式機械泵/渦輪式分子泵(全自動)

尺寸與重量

主機

390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg

控制單元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋轉泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg

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產品質量

10分

售后服務

10分

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10分

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