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激光源產生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產生。不同的目標氣體對應不同的能譜分布。
產品特點
● 低殘留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● *低耗氣量（氣體脈沖持續時間：<1 ms）
● 簡單目標氣體交換
● 桌面系統
產品應用
● 計量：反射測量、吸收
● 光譜學（nexafs）
● 光學/傳感器測試
● EUV損壞調查
● 材料相互作用基礎研究
● 水窗顯微鏡（λ=2..4納米）
技術參數
測試數據展示
咨詢電話：021-64149583、021-56461550、021-65061775
公司郵箱：info@micro***********
公司地址：上海市楊浦區黃興路2077號藍天大廈21F
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