參考價格
100-150萬元型號
臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）品牌
頂立科技產地
湖南樣本
暫無額定溫度：
-1500非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
±7.5最高溫度：
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電阻爐可采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好；
采用智能壓力調控，壓力波動小；
全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級高效尾氣處理系統，環境友好，能高效收集焦油及副產物，易清理；
可選配外循環快冷系統，降溫時間短，生產效率高；
| 參數\型號 | HCVD-060609-C | HCVD-101015-C | HCVD-121220-C | HCVD-151530-C | HCVD-152023-C | HCVD-252035-C |
| 工作區尺寸 W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 1500×2000×2300 | 2500×2000×3500 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。
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